来源:Hackaday
过渡金属二硫属化物 (TMD) 是一类材料,作为硅的潜在继任者而受到广泛关注。最近,一组研究人员展示了使用 TMD 替代硅通孔 (TSV) 的方法,TSV 是当前堆叠多层硅半导体电路的方式,例如 NAND 闪存 IC 和带有堆叠内存芯片的处理器。这里的创新之处在于新型电路直接在现有电路之上生长,无需使用 TSV 等方法将 2D 层转换为 3D 堆栈。
正如[Ki Seok Kim] 及其同事在《自然》杂志上发表的论文(赠阅文章)中所报道的,这种单片 3D (M3D) 集成技术需要克服许多技术挑战,最重要的是使新的 TMD 单晶能够在足够低的温度下生长,以免破坏先前创建的电路。论文的示意图(如上图所示)详细介绍了这一进展:通过层的转移以及单晶层的高温和低温生长,从 TSV 到 M3D。
最终,在 385℃ 的温度下,硅衬底上垂直生长晶体管阵列(nMOS 和 pMOS)的演示器件得以实现,如果实现商业化开发,则意味着晶体管密度将大幅提升,并可能开发出 3D 半导体电路,而不是堆叠的 2D 电路。对于采用老式方法制造,我们仍然有所担心。
原文链接:
https://hackaday.com/2025/01/06/growing-semiconductor-layers-directly-with-tmds/
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